Konfokaalimikroskooppien sovellukset puolijohdeteollisuudessa
Laajamittainen-puolijohdetuotannon yhteydessä levylle on asetettava integroitujen piirien siruja, jaettava ne sitten eri yksiköihin ja lopuksi pakattava ja juotettava. Siksi kiekon leikkaavan uran koon tarkka ohjaus ja mittaus on tärkeä linkki tuotantoprosessissa.
VT6000-sarjan konfokaalinen mikroskooppi on Zhongtu Instrumentin markkinoille tuoma mikroskooppinen tarkastuslaite, jota käytetään laajalti puolijohteiden valmistus- ja pakkausprosesseissa. Se voi suorittaa kosketuksetonta skannausta- ja rekonstruoida kolmiulotteisen pinnan morfologian monimutkaisilla muodoilla ja jyrkillä laserleikkausurilla.
VT6000-sarjan konfokaalimikroskoopilla on erinomainen optinen resoluutio ja se pystyy tarkkailemaan kiekon pinnan ominaisuuksia yksityiskohtaisesti selkeän kuvantamisjärjestelmän avulla, kuten tarkkailemaan, onko kiekon pinnassa vikoja, kuten reunamurtumia ja naarmuja. Sähkötorni voi vaihtaa automaattisesti eri objektiivin suurennusten välillä, ja ohjelmisto kaappaa automaattisesti piirteiden reunat nopeaa kaksiulotteisen koon mittausta varten, mikä tunnistaa ja valvoo kiekon pintaa tehokkaammin.
Laserleikkauskiekkojen prosessissa vaaditaan tarkkaa asemointia, jotta varmistetaan, että kiekkoon voidaan leikata oikeaa ääriviivaa pitkin. Kiekkojen segmentoinnin laatua mitataan yleensä leikkausurien syvyyden ja leveyden perusteella. Konfokaaliteknologiaan perustuvassa VT6000-sarjan konfokaalimikroskoopissa, joka on varustettu nopeilla-skannausmoduuleilla, on ammattimainen analyysiohjelmisto monialue- ja automaattisilla mittaustoiminnoilla. Se voi nopeasti rekonstruoida testatun kiekon laseruran kolmiulotteisen ääriviivan ja suorittaa moniprofiilianalyysin saadakseen kanavan syvyys- ja leveystiedot poikkileikkauksesta.
