Johdatus elektronimikroskoopin rakenteeseen
Elektronimikroskooppi koostuu kolmesta osasta: linssin piippu, tyhjiöjärjestelmä ja virtalähdekaappi. Linssin piippu sisältää pääasiassa elektronipistooleja, elektronilinssejä, näytetelineitä, fluoresoivia näyttöjä ja kameramekanismeja. Nämä komponentit kootaan yleensä pylvääksi ylhäältä alas; tyhjiöjärjestelmä koostuu mekaanisista tyhjiöpumpuista, diffuusiopumpuista ja tyhjiöventtiileistä. Kaasuputki on yhdistetty linssin piippuun, ja tehokaappi koostuu suurjännitegeneraattorista, viritysvirran stabilisaattorista ja erilaisista säätöyksiköistä.
◆Elektroninen linssi
Elektronilinssi on elektronimikroskoopin linssin piipun tärkein osa. Se käyttää avaruussähkökenttää tai magneettikenttää, joka on symmetrinen linssin piipun akseliin nähden, taivuttamaan elektroniradan akseliin kohdistuksen muodostamiseksi. Sen tehtävä on samanlainen kuin lasikuperalla linssillä säteen tarkentamiseksi, joten sitä kutsutaan elektroniksi. linssi. Useimmat nykyaikaiset elektronimikroskoopit käyttävät sähkömagneettisia linssejä, jotka fokusoivat elektronit vahvan magneettikentän kautta, jonka tuottaa erittäin vakaa DC-viritysvirta, joka kulkee napakengillä varustetun kelan läpi.
◆Elektronipistooli
Elektronitykki on komponentti, joka koostuu volframifilamenttikuumakatodista, hilasta ja katodista. Se voi lähettää ja muodostaa elektronisuihkun tasaisella nopeudella, joten kiihdytysjännitteen stabiilisuudelta vaaditaan vähintään yksi 10 tuhannesosa.
