Jos haluat lisätä atomivoimamikroskoopin tarkastustoiminnan tehokkuutta, sinun on ymmärrettävä tämä toimintojen aalto
AFM-tarkastusohjeet on tiivistetty alla:
1) Järjestelmän esilämmitys: käynnistä ohjausrasia ja tietokone ja esilämmitä 30 minuuttia järjestelmän vakauttamiseksi
2) Näytteen valmistelu: Kiinnitä kuivattu näyte ruostumattomasta teräksestä valmistettuun levyyn kaksipuolisella teipillä, näytteen koko on halkaisijaltaan alle 1 cm ja paksuus alle 5 mm.
3) Suojaa anturi: poista pölysuojus ja irrota mikroskoopin anturi varovasti, kiinnitä ruostumattomasta teräksestä valmistettu levy näytteellä näytealustaan ja aseta sitten mikroskoopin anturi takaisin alkuperäiseen paikkaan. Ennen näytteen asettamista anturi ja näyte Pidä niiden välillä tietty etäisyys, jotta anturi ei vahingoitu.
4) Tilan valinta, avaa iNanoSPM online-ohjelmisto, valitse työtila ja suurennus (valitse yleensä 5 kertaa).
5) Pistesäätö: säädä laserpisteen säätönuppia saadaksesi laserpisteen konvergoimaan anturin ulokkeessa, säädä valoherkän ilmaisimen nuppia saadaksesi laserpisteen konvergoimaan valoherkän ilmaisimen keskelle, ja jos napautustilaa käytetään, voima on yleensä asetettu formantin korkeudelle 1/2 - 2/3.
6) Neulankärjen lähestymistapa: Säädä ensin pohjan manuaalista karkeasäätönuppia molemmin käsin (nuppi osoittaa vasenta päätä alaspäin ja päinvastoin) havaitaksesi laserpisteen neulan kärjessä ja näytteen pinnassa. Pysäytä manuaalinen ajo ja napsauta sitten "Automaattinen ajo" moottorin ohjauspaneelista. (Huomaa: Älä kallista etu- ja takapäätä liikaa säädettäessä ja nosta moottorin ohjaama osa hieman korkeammalle, muussa tapauksessa vedä neula pois ja säädä pohjassa olevaa manuaalista karkeasäätönuppia ja toista yllä olevat vaiheet).
7) Esimerkkiskannaus: aseta skannausalue X-, Y- ja Z-akselialue. Jos näyte ei ole selkeä, säädä jokaista parametria parhaan kuvatehosteen saavuttamiseksi.
8) Kuvan tallennus: tallenna skannattu kuvatiedosto määritettyyn paikkaan ja käytä kuva-analyysiohjelmistoa analysoimaan erilaisia parametreja, kuten kolmiulotteisia kuvia, pinnan karheusparametreja jne.
9) Sammutus: Napsauta skannauksen jälkeen "Automatic Drive" -painiketta moottorin ohjausikkunassa. Kun ajettavien askelmien määrä saavuttaa 3,000 askelta, se pysähtyy. Poistu reaaliaikaisesta ohjelmistosta, katkaise ohjausyksikön ja tietokoneen virta ja aseta pölysuojus päälle.
