Elektronimikroskoopissa on useita osia
Elektronimikroskooppi koostuu kolmesta osasta: linssin piippu, tyhjiölaite ja virtalähdekaappi.
1. Linssipiippu sisältää pääasiassa elektronilähteitä, elektronilinssejä, näytetelineitä, fluoresoivia näyttöjä ja ilmaisimia. Nämä komponentit kootaan yleensä sylinteriksi ylhäältä alas.
Elektronilinssiä käytetään elektronien fokusointiin ja se on elektronimikroskoopin piipun tärkein komponentti. Yleensä käytetään magneettisia linssejä, ja joskus käytetään myös sähköstaattisia linssejä.
2. Tyhjiölaitetta käytetään varmistamaan alipainetila mikroskoopissa, jotta elektronit eivät imeydy tai poikkea sen tiellä. Se koostuu mekaanisesta tyhjiöpumpusta, diffuusiopumpusta ja tyhjiöventtiilistä, ja se on yhdistetty linssin säiliöön pakoputken kautta.
3. Tehokaappi koostuu suurjännitegeneraattorista, viritysvirran stabilisaattorista ja erilaisista säätöyksiköistä.
