Menetelmä pinnoitteen paksuuden mittarin lämpötilan kompensoinnin mittaamiseksi
Pinnoitteen paksuusmittarin lämpötilakompensointimittausmenetelmä sisältää lämpötilakertoimen kalibrointivaiheen, käynnistysnolla-kalibrointivaiheen ja paksuuden mittaustyövaiheen, ja lopuksi laskee pinnoitteen todellisen paksuuden dx arvon; käyttämällä induktorikelan sähkömagneettisen kentän muutoksen ja lämpötilan välistä korrelaatiota, eli in Infinity-päässä oleva arvo mitataan kerran mittausprosessin aikana ja lämpötilanmuutoskerroin äärettömän päässä on verrannollinen lämpötilan muutoskertoimeen kun mittapää on lähellä mitattavan kohteen substraattia mittausta varten. Tämän ominaisuuden käyttäminen lämpötilakompensoinnin toteuttamiseen voi vähentää lämpötilan mittausvirhettä mahdollisimman paljon. Tämän menetelmän mittausvirhe voidaan periaatteessa hallita 1 prosentin sisällä, kun nykyinen kansallinen standardimme edellyttää 3 prosentin sisällä. Vertailun vuoksi tämän menetelmän mittausvirhettä voidaan hallita 1 prosentin sisällä. Mittaustarkkuus on saavuttanut kansainvälisten merkkikoneiden mittaustarkkuuden, ja se on Kiinassa edelleen erittäin korkealla tasolla.
